Главная > Автор Красников Геннадий Яковлевич
О чем не говорят конспирологи
Книги Красников Геннадий Яковлевич
Конструктивно-технологические особенности субмикронных МОП-транзисторов
Автор: Красников Геннадий Яковлевич
Издательство: Техносфера, 2011
Жанр: Нанотехнологии
Страниц: 800 страниц
Загрузил: admin, 16 марта 2015
   В книге рассмотрены особенности работы субмикронных МОП-транзисторов, описаны направления развития и ограничения применения методов масштабирования транзисторов, представлены требования к подзатворным диэлектрикам и технологии их формирования, различные конструкции сток-истоковых областей МОПТ и технологические процессы создания мелкозалегающих легированных слоев. Рассмотрены проблемы влияния масштабирования размеров элементов в субмикронную область и особенностей технологических процессов на надежность и долговечность субмикронных МОП-транзисторов. Представлены данные о влиянии технологических процессов изготовления субмикронных СБИС (процессов плазменной обработки, ионного легирования и технологических операций переноса изображения) на деградацию подзатворного диэлектрика, а значит — на уровень выхода, надежность и долговечность годных готовых изделий. Книга предназначена для специалистов в области проектирования и разработки технологии изготовления КМОП СБИС, а также для студентов старших курсов, аспирантов и преподавателей технических вузов.
Для правильной работы fb2Мира используйте только последние версии браузеров: Chrome, Opera или Firefox.
В других браузерах работа fb2Мира не гарантируется!
Ваша дата определена как 22 декабря 2024
Рейтинг@Mail.ru
© 2008–2024 fb2Мир