Главная > Автор Галперин В.А.
О чем не говорят конспирологи
Книги Галперин В.А.
Процессы плазменного травления в микро- и нанотехнологиях: Учебное пособие
Автор: Галперин В.А.
Издательство: Бином. Лаборатория знаний, 2015
Жанр: Нанотехнологии
Страниц: 283 страницы
Загрузил: paraxod, 27 апреля 2020
   В свете современного развития нанотехнологии и микромеханики рассмотрены процессы и системы вакуумно-плазменного травления, находящие широкое применение в производстве современных ультрабольших интегральных схем, изделий микроэлектромеханических систем и наносистем. Проанализированы способы обеспечения вакуумно-технических требований к проведению этих процессов, приведены методы контроля и диагностики, позволяющие достаточно глубоко понять характер протекающих процессов с целью соответствующей оптимизации технологии и оборудования. Для студентов вузов, изучающих процессы микро- и наноэлектроники, а также аспирантов, инженеров и научных работников, занимающихся вопросами технологии интегральных схем и микромеханики.
Для правильной работы fb2Мира используйте только последние версии браузеров: Chrome, Opera или Firefox.
В других браузерах работа fb2Мира не гарантируется!
Ваша дата определена как 22 ноября 2024
Рейтинг@Mail.ru
© 2008–2024 fb2Мир