Главная > Автор Акуленок М.В.
О чем не говорят конспирологи
Книги Акуленок М.В.
Введение в процессы интегральных микро- и нанотехнологий: Учебное пособие для вузов. Том 2
Автор: Акуленок М.В.
Издательство: Бином. Лаборатория знаний, 2014
Жанр: Нанотехнологии
Страниц: 252 страницы
Загрузил: driver, 14 июля 2016
   Разделение данной книги на 2 тома обусловлено большим объемом материала, касающегося интегральных микро- и нанотехнологий; при этом каждый из томов представляет вполне самостоятельный интерес. Во втором томе изложены технологические и конструктивные основы и особенности методов формирования и «сухого» травления на поверхности подложки тонких слоев и локальных областей проводящих, диэлектрических и полупроводниковых материалов в условиях уменьшения размеров элементов до нанометрового диапазона для интегральных технологий микро- и наноэлектроники, оптоэлектроники, микросистемной техники. Рассматриваются эпитаксиальные процессы, процессы вакуум-термического и ионно-плазменного осаждения, ионного, ионно-химического и плазмохимического травления, термического окисления, методы легирования термической диффузией и ионной имплантацией, а также процессы фотолитографии. Для студентов и аспирантов высших учебных заведений, специализирующихся в области микро- и наноэлектроники, микроэлектромеханических систем, физики твердого тела, материаловедения. Книга может быть полезна инженерно-техническим работникам соответствующих областей.
Для правильной работы fb2Мира используйте только последние версии браузеров: Chrome, Opera или Firefox.
В других браузерах работа fb2Мира не гарантируется!
Ваша дата определена как 22 декабря 2024
Рейтинг@Mail.ru
© 2008–2024 fb2Мир